芯片加工图纸设计规范-汶颢股份

芯片加工图纸设计规范

芯片加工图纸设计规范

尊敬的客户:

您好!为了更加便捷和高效地确认芯片加工图纸,请尽量按照如下规范设计 图纸,谢谢!

图纸格式要求:

•3D 常规格式.step/.igs/.x_t

•2D 常规格式.dwg/.dxf

•若是使用 SolidWorks 绘图请另存为“Parasolid Binary(*.x-b)”格式

•用 L-edit 绘制的 GDSII、CIF、TDB

PDMS、纯硅芯片: 

1、绘图范围:直径 98mm 的圆;

2、若是流道有多个高度,请分层绘制,高度用不同的颜色填充,并备注;

3、必须绘制单个结构的边框,建议结构边缘距离边框至少 5mm;

4、若是需要浇铸 PDMS 芯片,请备注 PDMS 整体厚度,推荐 3-4mm;

5、备注 PDMS 进出样口打孔直径,推荐打孔直径 0.5mm,配套不锈钢接头 0.5*0.7mm,PTFE 导管 0.5*0.9mm;

6、备注:绘图单位、最小线间距、加工数量。

PDMS、纯硅芯片图纸设计 

玻璃芯片:

1、绘图范围:98*98mm 的正方形;

2、若是流道有多个高度,请分层绘制,高度用不同的颜色填充,并备注;

3、必须绘制单个结构的边框,建议结构边缘距离边框至少 5mm;

4、备注:进出样口打孔直径,推荐直径 1mm,粘 1/16PEEK 接头和底座,若是 采用粘底座的方式,需保证 2 个进样口的圆心距离大于 7.5mm。

5、备注:绘图单位、最小线间距、加工数量。

玻璃图纸设计规范 

PMMA 芯片

PMMA 芯片采用 CNC 机床加工,提供标准 CAD 图纸或者是 step/.igs/.x_t 格式的 图纸。

尊敬的客户:

您好!为了更加便捷和高效地确认芯片加工图纸,请尽量按照如下规范设计 图纸:只需提供 CAD 平面图,标明通道的尺寸参数,通道的深度对应标注即可。 图纸面积直径 4 英寸(约 10cm)的圆,图形复杂的请标注几处尺寸即可,注意带单位,谢谢!

芯片通道结构示意图 

1 芯片通道结构示意图,芯片整体大小 10*11mm

 芯片基底电极结构示意图 

2 芯片基底电极结构示意图,基底整体大小 13*19mm