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URE-2000B型光刻机

  • 型号URE-2000B
  • 模式

中国光电URE-2000B型光刻机性能完善,功能齐全,具有广泛适用性以及生产型。

  1. 详细信息

产品名称:

中国光电URE-2000B型光刻机

URE-2000B型紫外光刻机主要技术特点: 

   该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。 

技术参数:

1.技术参数

曝光面积:110mm×110mm

分辨力:0.8μm(胶厚2μm的正胶)

对准精度:±1μm

最大焦厚:600mm(SU8胶,用户提供检测条件)

曝光波长:365nm

光源平行度:2º

掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm

掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

样片尺寸:直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)

               厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

照明均匀性:±3%(f100mm范围)

掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

曝光能量密度:>18mW/cm

汞灯功率:1000W(直流)

曝光设定方式:定时(倒计时方式0.1s-999.9s任意设定)

外形尺寸:1400mm(长)´1200mm(宽)´1850mm(高)

 

配置:

(1)曝光头

 冷光椭球镜

 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

XYZ汞灯调节台

光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(100个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

冷却风扇

(2)对准工件台

掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构,自动完成

样片自动调焦机构

承片台4个(Ø15mm 、2英寸、3英寸、4英寸)

  掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

掩模抽拉式上下机构

(3)对准显微镜及CCD对准系统

光源、电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

CCD

21英寸液晶显示器

(4)电控系统

汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

单片机控制系统

控制柜桌

(5)气动系统

气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪表

(6)其他附件

真空一台(无油泵)

空压机一台(静音泵)

管道

(7)技术资料

使用维修说明书

显微镜使用说明书


标签:   紫外光刻机