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URE-2000A型光刻机

  • 型号URE-2000A
  • 模式

中国光电URE-2000A型光刻机精准度高,尺寸丰富,运动行程多样化等特点。

  1. 详细信息

产品名称:

中国光电URE-2000A型光刻机


产品特点:

◆ 曝光面积:150mm×150mm

◆ 分辨力:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶)

◆ 对准精度:0.6μm

◆ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 样片尺寸:直径15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均匀性: 3.5%(100mm 范围); 5%( 150mm范围)

◆ 掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ 最大胶厚:500m(SU8胶,用户提供匀胶条件)

◆ 光源平行性:3.5

◆ 汞灯功率:1000W(直流)

◆ 曝光设定方式:定时(倒计时方式0.1s-999.9s任意设定)

◆ 外形尺寸:1400mm(长)1200mm(宽) 2150mm(高)

 

技术参数 配置:

(1)曝光头

◆冷光椭球镜

◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1

、准直镜镜2、蝇眼透镜组(100个透镜)、i线滤光片

、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

◆循环水冷系统

(2)对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片调焦机构,自动调

◆承片台4个(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)

◆掩模夹4个(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)

◆基片抽拉式上下机构

(3)对准显微镜

◆光源(配备品2只)、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

◆物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

(4)CCD对准系统

◆光源(配备品3只)、电源

◆成像光学系统

◆数据采集卡

◆CCD

(5)电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)

(6)气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

(7)其他附件

◆真空一台(无油泵)

◆空压机一台(静音泵)

◆管道

(8)技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书

 

 


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