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首页 > 站内搜索 > 全站搜索  '关键字: 光刻'
  • 洁净室的构成以及等级划分标准其划分为几个级别:实验室中高温炉区、等离子区、测试区等要求达到千级等级;光刻、匀胶、显影工艺要求在百级超净间进行。微流控芯片加工实验室通常要求在洁净...2016-11-07 08:48:09
  • 普通实验室玻璃芯片的简易加工技术渗等性质,已广泛用于制作微流控芯片。玻璃微流控芯片的加工技术由掩膜制作、光刻曝光、显影、除铬、刻蚀、芯片切割与钻孔和热键合等步骤组成。一、掩膜制作 ...2016-11-04 10:03:34
  • 汶颢微流控芯片加工能力能力,保持国内芯片加工领域先进地位,配置了先进的软刻蚀有机芯片加工系统、光刻-掩膜无机芯片加工系统、数控CNC微加工系统,可以加工玻璃、石英、硅、P...2016-11-01 14:06:48
  • 离心力驱动微流控芯片C)、聚苯乙烯(PS)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)等。阳模的加工SU-8光刻胶在光刻、曝光、显影后可得到高深宽比的微结构,可直接用于微流控芯片阳模的...2016-11-01 10:31:27
  • 微流控分析芯片材料及其优缺点、硅材料在微电子学发展的过程中,硅的微细加工技术已趋成熟。在硅片上可使用光刻技术高精度地复制二维图形,并可使用制备集成电路的成熟工艺进行加工及批量生...2016-10-31 10:19:49
  • 匀胶机的工作原理型的匀胶过程包括滴胶,高速旋转以及干燥(溶剂挥发)几个步骤。滴胶这一步把光刻胶滴注到基片表面上,高速旋转把光刻胶铺展到基片上形成簿层,干燥这一步除去...2016-10-21 11:15:09
  • 微流控分析芯片的材料及其优缺点、单晶硅优点:具有化学惰性和热稳定性;      加工工艺成熟 ,可使用光刻和蚀刻等制备集成电路的成熟工艺进行加工及批量生产;缺点:易碎 ,价格贵;...2016-10-21 09:10:50
  • 微流控芯片的种类以及优缺点分析 化学性质好2、         光学性质优良3、         易于光刻和蚀刻4、         键合工艺多样5、         可重复使用...2016-10-19 16:29:29
  • 微流控芯片加工需要哪些设备?学及医学器件等领域发挥重要作用。那么,加工微流控芯片需要哪些设备呢?一、光刻机主要制作硅片材质的微流控芯片。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂...2016-10-19 10:49:04
  • 芯片刻蚀技术中的干法刻蚀技术的方法。干法刻蚀特点各向异性,纵向的刻蚀速率远大于横向的刻蚀速率;离子对光刻胶和无保护的薄膜同时进行刻蚀,选择性比湿法腐蚀差。干法刻蚀的分类1、等离...2016-10-17 09:14:25