苏州汶颢微流控技术股份有限公司

SU8光刻胶
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    高深宽比光敏玻璃

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    该光敏玻璃采用连熔法生产,具有先进的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体,这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理,玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷,以此增强玻璃的机械性能。这些特性使光敏玻璃大量应用在微流控(Microfluidics)、无线射频(RF)元件和微机电系统(MEMS)等领域。光明玻璃晶圆的标准供

    1. 详细信息

    光敏玻璃采用连熔法生产,具有先进的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体,这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理,玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷,以此增强玻璃的机械性能。这些特性使光敏玻璃大量应用在微流控(Microfluidics)、无线射频(RF)元件和微机电系统(MEMS)等领域。


    光明玻璃晶圆的标准供应尺寸包括直径6英寸或8英寸的晶圆以及200X200毫米方形基板,产品厚度则在0.5毫米—1毫米之间,另外可以根据客户需求定制不同尺寸的玻璃片。


    光敏玻璃具有一系列优异特性,例如:


    1、 大于10:1的深宽比;

    2、 最小35微米直径的通孔(0.5mm厚度的玻璃);

    3、 最小45微米的间距;

    4、大于30:1腐蚀速率(处理区和非处理区);

    5、垂直度大于88度;

    6、 加工区域粗糙度小于3微米;

    7、高度质量均一性:先进的熔制工艺确保光敏性均一且具高度重现性;

    8、无需光刻胶即可制作微结构;

    9、极佳的透光特征(同时表现在可见区和非可见区);

    10、生物兼容性:耐温,化学稳定;

    11、环境友好:符合EU-RoHS 和 EU-REACH规定;

    12、光敏玻璃的切割和键合,基本可以沿用传统的加工手段。


    光敏玻璃不同尺寸的方孔加工结果:


    光敏玻璃不同尺寸的方孔加工结果


    光敏玻璃不同尺寸的圆孔加工结果:


    光敏玻璃不同尺寸的圆孔加工结果



    采用光敏玻璃加工的复杂结构:


    采用光敏玻璃加工的复杂结构


    光敏玻璃加工结构的表面粗糙度:


    光敏玻璃加工结构的表面粗糙度





    标签:   光敏玻璃 基片