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    WH-HP-02 多温区烘胶台

    • 型号WH-HP-02 多温区烘胶设备
    • 模式烘胶,烤胶

    多温区烘胶台/烤胶机/热板具有3个温控区域可分别设定与调整不同的温度,可同时/单独工作。最大烘胶温度300度,直径210mm

    1. 详细信息

    产品简介

    多温区烘胶台(WH-HP-02)是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品,可以用于光刻工艺中烘胶工艺,包括前烘、中烘和后烘,并具有分段式程控升温。该设备采用PID控温系统自动测温控温,升温速度快、温度均匀、控温精度高等特点,可长时间持续稳定工作。此外,此仪器最大特点是具有3个温控区域,可分别设定与调整不同的温度,可同时/单独工作,克服了常规烘胶台只有一个温控区域,需要多个温度控制时必须来回切换升温/降温的缺点,极大提高了烘胶效率,以及烘胶过程的温度一致性。

    WH-HP-02是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤,后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度,均匀性,较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤,后烘烤和硬烘烤,以进行光蚀刻过程。WH-HP-02热板与KW-4A旋涂机或WH-SC-01旋涂机一起使用,是在硅片或其他基板上制造金属氧化物薄膜、聚合物涂层和金属有机薄膜的理想工具。

    与传统烘箱相比,使用加热板固化薄膜将减少烘烤时间,提高可重复性,并获得更均匀和更好的薄膜质量。这是因为WH-HP-01在整个基材上具有均匀的温度曲线,并为薄膜和涂层提供均匀的加热。因为薄膜/涂层是从下往上加热的,所以可以避免皮肤效应。 

    多温区烘胶台(热板、烤胶机)技术参数

    WH-HP-02多温区烘胶台(7寸

    WH-HP-03多温区烘胶台(5寸

    烘胶温度:室温~300℃

    持续烘胶时间:~15min以内为宜

    控温精度:±1℃

    温度均匀性:<±5%

    烘胶板规格:φ210 mm

    参数设定:触摸屏设置参数

    控温形式:PID控温系统

    电源输入:AC220V±10V/50HZ

    功率:2.5 KW

    重量:40 kg

    外形尺寸:580(W)*706(D)*187(H)mm

    烘胶温度:室温~300℃

    持续烘胶时间:~15min以内为宜

    控温精度:±1℃

    温度均匀性:<±5%

    烘胶板规格:φ130mm

    参数设定:触摸屏设置参数

    控温形式:PID控温系统

    电源输入:AC220V±10V/50HZ

    功率:1.5 KW

    重量:21kg

    外形尺寸:480(W)*580(D)*200(H)mm


    特征图解

    多温区烘胶台/热板外观示意图

    多温区烘胶台/热板外观示意图2

    操作界面

    多温区烘胶台/热板系统设置示意图

    多温区烘胶台/热板温度测试数据表:

    烘台位置

    设置温度(℃)

    显示温度(℃)

    中心(℃)

    偏中心(℃)

    边缘(℃)

    均一性%

    左烘台

    65

    64.8~65.2

    66

    63

    65

    4.5%

    100

    99.7~100.2

    106

    101

    105

    4.7%

    150

    149.5~150.4

    154

    147

    152

    4.5%

    200

    199.6~200.4

    214

    195

    213

    8.9%

    250

    249.4~250.4

    268

    248

    265

    7.5%

    280

    279.6~280.5

    307

    280

    302

    8.8%

    右烘台

    65

    64.8~65.3

    69

    65

    67

    5.8%

    100

    99.7~100.5

    105

    102

    104

    2.9%

    150

    149.4~150.7

    157

    151

    155

    3.8%

    200

    199.4~200.4

    215

    200

    208

    7.0%

    250

    248.6~250.8

    270

    249

    265

    7.8%

    280

    279.0~280.9

    309

    281

    298

    9.1%

    前烘台

    65

    64.9~65.4

    66

    63

    65

    4.5%

    100

    99.8~100.4

    106

    101

    105

    4.7%

    150

    149.7~150.3

    154

    146

    154

    5.2%

    200

    199.8~200.5

    210

    194

    207

    7.6%

    250

    249.7~251.2

    280

    253

    266

    9.6%

    280

    279.8~281.2

    317

    283

    289

    10.7%

    测试结论

    温度范围:室温~300℃;控温精度≤±1℃;实际温度偏差范围±5℃;温度均一性:室温~150℃温度均一性范围≤±5%,>150℃温度均一性范围>±5%。

    有任何其他疑问或需要详细说明书可咨询客服


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