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WH-HP-01 烘胶台
- 型号WH-HP-01 烘胶设备/光刻热板
- 模式烘胶、烤胶
WH-HP-01型烘胶台(烤胶机、热板)采用PID控温系统触摸屏控制温度可达300℃,控温精度±1℃,温度均匀性:<±3%,适用基片尺寸直径200mm
1.烘胶台/烤胶机产品简介
WH-HP-01烘胶台是苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发,具有独立知识产权,可以用于光刻工艺中的前烘、中烘和后烘。该设备采用PID控温系统自动测温控温,并具有两段式自动升温、烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点,可长时间持续稳定工作。
WH-HP-01是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤,后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度,均匀性,较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤,后烘烤和硬烘烤,以进行光蚀刻过程。
WH-HP-01热板与KW-4A旋涂机或WH-SC-01旋涂机一起使用,是在硅片或其他基板上制造金属氧化物薄膜、聚合物涂层和金属有机薄膜的理想工具。与传统烤箱相比,使用加热板固化薄膜将减少烘烤时间,提高可重复性,并获得更均匀和更好的薄膜质量。这是因为WH-HP-01在整个基材上具有均匀的温度曲线,并为薄膜和涂层提供均匀的加热。因为薄膜/涂层是从下往上加热的,所以可以避免皮肤效应。
烤胶机(英文名:Hot Plate)又名烘胶台,烤胶台,加热平台,烤胶板,热台,热板等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等。产品采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件,有极高精准的控温精度,紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。该设备结构简单,操作简便,安全可靠,是从事半导体热处理、材料研究生产、温度干燥试验等必不可少的工具。
2.烘胶台/烤胶机技术参数
正常温度:室温-300℃ | |
极限温度:350℃ | |
持续烘胶时间:15min以内为宜 | |
控温精度:±1℃ | |
温度均匀性:<±3% | |
烘胶板规格:φ200 | |
参数设定:触摸屏设置参数 | |
控温形式:PID控温系统 | |
电源输入:AC220V±10V,50HZ | |
功率:650W | |
重量:16kg | |
外形尺寸:365*280*156mm |
3.烘胶台/烤胶机特征图解
①观察窗 ②盖板 ③烘胶板 ④触摸屏 ⑤风扇 ⑥电源插孔 ⑦通风孔
烘胶台温度测试数据表:
设定温度(℃) | 1 | 2 | 3 | ||||||||||||
显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | 显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | 显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | |||||||
中心 | 偏中心 | 边缘 | 中心 | 偏中心 | 边缘 | 中心 | 偏中心 | 边缘 | |||||||
65 | 64.7~65.9 | 65 | 66 | 67 | 2.99% | 64.4~65.5 | 68 | 68 | 69 | 4.35% | 64.8~65.9 | 68 | 67 | 69 | 2.90% |
95 | 94.7~96 | 95 | 96 | 97 | 2.06% | 94.3~96.1 | 96 | 96 | 98 | 2.04% | 94.6~96.3 | 96 | 96 | 96 | 0.00% |
120 | 119.7~121 | 120 | 121 | 123 | 2.44% | 119.6~121.4 | 121 | 121 | 121 | 0.00% | 119.4~121.8 | 120 | 119 | 117 | 2.50% |
150 | 149.1~151.5 | 149 | 151 | 152 | 1.97% | 149.3~151.5 | 150 | 150 | 152 | 1.32% | 149.2~151.7 | 150 | 148 | 148 | 1.33% |
200 | 198.9~201.1 | 198 | 201 | 202 | 1.98% | 199.1~201.2 | 196 | 198 | 200 | 2.00% | 199.3~201.9 | 201 | 196 | 197 | 1.99% |
250 | 248.2~250.9 | 251 | 254 | 255 | 1.57% | 248.8~250.8 | 251 | 252 | 254 | 1.18% | 248.5~251.5 | 253 | 249 | 250 | 2.80% |
280 | 278.6~280.6 | 282 | 284 | 287 | 1.74% | 278.2~280.9 | 282 | 285 | 286 | 1.40% | 278.4~281 | 287 | 281 | 283 | 1.39% |
测试结论 | 控温精度<±2℃,温度准确性(偏中心点)范围在±5℃,温度均一性<5%。 |
装箱清单:
名称 | 单位 | 数量 |
烘胶台机体 | 台 | 1 |
电源线 | 份 | 1 |
使用手册 | 份 | 1 |
质检报告 | 份 | 1 |
合格证 | 份 | 1 |
保修卡 | 份 | 1 |
烘胶台视频指导
注:清点包装箱内的附件和印刷资料,箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。
更多烘胶台/烤胶机使用说明及安全注意事项请下载本产品使用手册!
标签:  烘胶台