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    WH-HP-01 烘胶台

    • 型号WH-HP-01 烘胶设备/光刻热板
    • 模式烘胶、烤胶

    WH-HP-01型烘胶台(烤胶机、热板)采用PID控温系统触摸屏控制温度可达300℃,控温精度±1℃,温度均匀性:<±3%,适用基片尺寸直径200mm

    1. 详细信息

    1.烘胶台/烤胶机产品简介

    WH-HP-01烘胶台是苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发,具有独立知识产权,可以用于光刻工艺中的前烘、中烘和后烘。该设备采用PID控温系统自动测温控温,并具有两段式自动升温、烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点,可长时间持续稳定工作。

    WH-HP-01是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤,后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度,均匀性,较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤,后烘烤和硬烘烤,以进行光蚀刻过程。

    WH-HP-01热板与KW-4A旋涂机或WH-SC-01旋涂机一起使用,是在硅片或其他基板上制造金属氧化物薄膜、聚合物涂层和金属有机薄膜的理想工具。与传统烤箱相比,使用加热板固化薄膜将减少烘烤时间,提高可重复性,并获得更均匀和更好的薄膜质量。这是因为WH-HP-01在整个基材上具有均匀的温度曲线,并为薄膜和涂层提供均匀的加热。因为薄膜/涂层是从下往上加热的,所以可以避免皮肤效应。 

    烤胶机(英文名:Hot Plate)又名烘胶台,烤胶台,加热平台,烤胶板,热台,热板等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等。产品采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件,有极高精准的控温精度,紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。该设备结构简单,操作简便,安全可靠,是从事半导体热处理、材料研究生产、温度干燥试验等必不可少的工具。

       点击下载外观设计专利证书>>

    2.烘胶台/烤胶机技术参数

    汶颢实验室烘胶台/烤胶机外观图一汶颢实验室烘胶台/烤胶机侧面图正常温度:室温-300℃
    极限温度:350℃
    持续烘胶时间:15min以内为宜
    控温精度:±1℃
    温度均匀性:<±3%
    烘胶板规格:φ200
    参数设定:触摸屏设置参数
    控温形式:PID控温系统
    电源输入:AC220V±10V,50HZ
    功率:650W
    重量:16kg
    外形尺寸:365*280*156mm

    3.烘胶台/烤胶机特征图解

    汶颢烘胶台/烤胶机特征图解1汶颢烘胶台/烤胶机特征图解2


    ①观察窗 ②盖板 ③烘胶板 ④触摸屏 ⑤风扇 ⑥电源插孔 ⑦通风孔

    烘胶台温度测试数据表:

    设定温度(℃)

    1

    2

    3

    显示温度(℃)

    实际温度(℃)

    温度均一性%

    显示温度(℃)

    实际温度(℃)

    温度均一性%

    显示温度(℃)

    实际温度(℃)

    温度均一性%

    中心

    偏中心

    边缘

    中心

    偏中心

    边缘

    中心

    偏中心

    边缘

    65

    64.7~65.9

    65

    66

    67

    2.99%

    64.4~65.5

    68

    68

    69

    4.35%

    64.8~65.9

    68

    67

    69

    2.90%

    95

    94.7~96

    95

    96

    97

    2.06%

    94.3~96.1

    96

    96

    98

    2.04%

    94.6~96.3

    96

    96

    96

    0.00%

    120

    119.7~121

    120

    121

    123

    2.44%

    119.6~121.4

    121

    121

    121

    0.00%

    119.4~121.8

    120

    119

    117

    2.50%

    150

    149.1~151.5

    149

    151

    152

    1.97%

    149.3~151.5

    150

    150

    152

    1.32%

    149.2~151.7

    150

    148

    148

    1.33%

    200

    198.9~201.1

    198

    201

    202

    1.98%

    199.1~201.2

    196

    198

    200

    2.00%

    199.3~201.9

    201

    196

    197

    1.99%

    250

    248.2~250.9

    251

    254

    255

    1.57%

    248.8~250.8

    251

    252

    254

    1.18%

    248.5~251.5

    253

    249

    250

    2.80%

    280

    278.6~280.6

    282

    284

    287

    1.74%

    278.2~280.9

    282

    285

    286

    1.40%

    278.4~281

    287

    281

    283

    1.39%

    测试结论

    控温精度<±2℃,温度准确性(偏中心点)范围在±5℃,温度均一性<5%。

    装箱清单:

    名称

    单位

    数量

    烘胶台机体

    1

    电源线

    1

    使用手册

    1

    质检报告

    1

    合格证

    1

    保修卡

    1


    注:清点包装箱内的附件和印刷资料,箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。

    更多烘胶台/烤胶机使用说明及安全注意事项请下载本产品使用手册!


    标签:  烘胶台