首页 > 仪器设备 > 光刻机
  1. URE-2000/35型光刻机
  2. URE-2000/35型光刻机

URE-2000/35型光刻机

  • 型号URE-2000/35
  • 模式

URE-2000/35型光刻机采用三爪找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能。适合工厂和高校教学科研。

  1. 详细信息

产品名称:

中国光电URE-2000/35型光刻机

 

技术特征:

适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)
采用三爪找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能

自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用350W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度

设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。
技术参数:
曝光面积:100mm×100mm(可升级150mm×150mm)
分辨力:1μm(胶厚2 μm的正胶)
 对准精度:±1μmm
掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
 样片尺寸
直径f15mm-- f100mm(可适应非标准片或碎片)
 厚度0.1mm--6mm

照明均匀性: ±4%( 100mm×100mm 范围)
掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6?
汞灯功率:350W(直流)
 曝光波长:365nm
曝光能量密度:>15mW/cm 
曝光方式:定时(倒计时方式0.1s—999.9s)
外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽) ?1600mm(高)
配置:
(1)曝光头
冷光椭球镜
350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ汞灯调节台
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2
冷却风扇
(2)对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,三点自动完成
样片调焦机构,电机自动调
承片台4个:f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用户要求增减)
掩模夹4个:3英寸、4英寸、5英寸(可按用户要求增减)
掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
光源(配备品2只)、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)
物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
CCD对准系统,21寸液晶显示器
(4)电控系统
汞灯触发电源(350W直流汞灯)
单片机控制系统
控制柜桌 
(5)气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表 
(6)其他附件
真空泵一台
空压机一台
管道
(7)技术资料
使用维修说明书
显微镜使用说明书


标签:   光刻机
手持式PDMS打孔器