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URE-2000/25型光刻机

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URE-2000/25型光刻机超精密手轮对准调节,方便操作,精准曝光。

  1. 详细信息

产品名称:

中国光电URE-2000/25型光刻机

 

产品特点:
1、采用多反射镜实现均匀照明;       
2、超精密手轮对准调节 ;
3、单片机控制,触摸开关操作;  
4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供USB输出;

5、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,温度小于35度);     
6、采用350W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度;
7、整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比;

8、既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储;   

9、手动上下版、样片,手动调平;手动分离间隙。快门可单独开启,也可以数字设定自动倒计时曝光(设定范围0.1s-9999s)

 

规格参数:
1、曝光面积:100mm×100mm(或150 mm×150mm)    
2、分辨力:1.5μm(胶厚2μm的正胶)    
3、对准精度:±0.8μm      
4、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm    
5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸      
6、样片尺寸直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)  
7、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)      
8、照明均匀性:±4%(f100mm范围)±6%(f150mm范围)      
9、掩模相对于样片运动行程:  X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度      
10、汞灯功率:350W(直流)      
11、曝光波长:365nm      
12、曝光能量密度:15mW/cm (420nm以上波长小于0.1mW/cm )     
13、曝光方式:定时(到计时方式0.1s—999s)
14、外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽)?1600mm(高)


标签:   光刻机
手持式PDMS打孔器