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- 微反应器加工工艺蚀是利用气体进行腐蚀，具有溅射腐蚀、等离子刻蚀、RIE等多种实用技术。干法刻蚀与湿法刻蚀相比，不需要有毒化学试剂，无需清洗，对环境影响小，自动化程度...2022-02-26 23:26:51
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- 微反应器的发展现状到目前为止，制造微通道可应用的微加工技术包括：精密机械加工、湿法刻蚀、干法刻蚀、电化学刻蚀、表面硅工艺技术、LIGA(光刻、电铸成模和塑注成型)技术...2018-08-20 09:35:25
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- 微流控分析芯片的加工技术刻蚀(plasma etching)等离子体刻蚀是一种以化学反应为主的干法刻蚀工艺，刻蚀气体分子在高频电场作用下，产生等离子体。等离子体中的游离基化...2017-10-12 09:24:20
