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• 制作微流控芯片的主要材料阀和模具等器件。但是硅材料也具有本身的缺点，例如绝缘性和透光性较差、深度刻蚀困难、硅 基片的粘合成功率低等，这些影响了硅的应用。      ...2015-02-03 13:50:22
• 紫外光源：曝光系统最核心。波长越短，可曝光的特征尺寸就越小；[波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，刻蚀对于精度控制要求越高，因为衍射现象会更严重。]        b...2015-01-30 16:11:16
• 芯片实验室的发展方向手工为主的微机电(MEMS)技术生产逐渐朝自动化、数控化的亚紫外激光直接刻蚀微通道方向发展。        2．将泵、阀、管道、反应器等集于一体...2014-06-13 10:11:27
• 薄层石墨烯应用简易图建石墨烯泡沫的流程示意图。 （b）石墨烯/ 泡沫镍复合材料进行镍刻蚀的光学图片。刻蚀剂：FeCl3/HCl（1 M/1 M）的混合溶液。 ...2014-06-05 10:00:17