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  • 多材料3D打印器官芯片的器官芯片的制备和数据收集过程相当昂贵和辛苦,需要使用一种复杂的多步骤光刻工艺在洁净室里制造,而数据收集往往需要显微镜或高速照相机。而哈佛大学开发的...2017-08-29 10:24:27
  • 匀胶机旋涂仪小知识备厚度小于10 纳米薄膜。也常应用在约1-100 微米厚光刻胶沉积层的光刻工艺中。许多平面基底材料都可以用来涂覆如:半导体硅片,载玻片,晶片,基片,...2017-08-25 08:48:47
  • 刻蚀工艺:干法刻蚀和湿法刻蚀胶(或有掩膜)的硅片上正确的复制出掩膜图形。      刻蚀,通常是在光刻工艺之后进行。我们通常通过刻蚀,在光刻工艺之后,将想要的图形留在硅片上。从...2017-08-23 16:26:42
  • 光刻胶基础知识高的灵敏度。但灵敏度太高会影响分辨率。通常负胶的灵敏度高于正胶。分辨率光刻工艺中影响分辨率的因素有:光源、曝光方式和光刻胶本身(包括灵敏度、对比度、...2017-08-21 10:09:09
  • 微流控芯片加工技术介绍光刻(lithography)和刻蚀技术(etching)3.1微流控光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进行微制造 ,工艺如下 :(a)仔细地将基...2017-08-15 12:32:28
  • 中国科学院光电技术研究所研制出实用深紫外光刻机式、接近式模式、数字设定曝光间隙等诸多功能供用户选择或定制,能满足不同光刻工艺需求。该光刻机设备自动化程度高、操作十分方便、外形美观。该型设备的成功...2017-07-28 16:03:16
  • 在微流控平台上分离单细胞胞的物理(声、光、电、体积等)或生物学性质(抗原)实现分选。此外,使用光刻工艺制造出来的反应室可以达到很高的精度,消除了液滴式微流控系统中反应容器体...2017-02-22 09:55:29
  • 光刻机的曝光模式能耐久使用;掩模寿命长(可提高10 倍以上),图形缺陷少。接近式在现代光刻工艺中应用最为广泛。c.投影式曝光(Projection Printing...2016-12-08 14:34:46
  • 微流控芯片加工过程中用到的仪器设备一、光刻工艺所需设备一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻过程中涉及到的试剂以及设备...2016-12-05 14:58:36
  • 不同材质微流控芯片的加工工艺可逆结合(或不可逆)。PDMS芯片微结构尺寸取决于其注塑模具,普通紫外光刻工艺加工的尺寸最细可到2um,由于PDMS芯片材质的透气性、透光性和生物相...2016-12-05 10:43:18