- 微流控芯片制作的环境要求超净间:超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内的温...2023-03-01 09:23:43
- 低成本微流控芯片键合技术是同类、同厚度材料，特殊用途时也可对不同类型和厚度的材料进行键合。不同于超净间内使用精密仪器设备完成的硅、玻璃芯片间的键合，近年来，研究者提出了各类低...2022-09-01 08:51:17
- PDMS-玻璃键合芯片完整工艺烘、曝光、后烘、显影和坚膜，主要的工艺流程如图 2 所示。本文的阳膜是在超净间内制作完成，其中所用的主要设备是匀胶机，曝光机 ，以及可编程热板 PHP...2022-03-31 14:37:35
- 3D打印与“芯片上的实验室”芯片的表面微加工、软印、压印 、注射成型、激光烧蚀等。这些加工过程需要在超净间内完成，并且工序复杂，所需空间也大，对设计与加工人员的经验依赖度高。与半...2017-11-28 15:28:48
- 微流控芯片制作的环境要求微流控芯片制作主要在超净间(Clean Room)内完成。超净间亦称无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害成分、细菌等污染物排除，并对室内温度、照明、压力、气流...2016-12-08 17:34:23
- 洁净室的构成以及等级划分标准炉区、等离子区、测试区等要求达到千级等级；光刻、匀胶、显影工艺要求在百级超净间进行。微流控芯片加工实验室通常要求在洁净环境中，汶颢科技根据加工精度和客...2016-11-07 08:48:09
