微流控芯片制作的环境要求

微流控芯片制作主要在超净间(Clean Room)内完成。超净间亦称无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害成分、细菌等污染物排除，并对室内温度、照明、压力、气流分布、静电等控制在某一需求范围内而特别设计的房间。

超净间除尘原理

芯片制作主要在超净间(Clean Room)内完成。超净间亦称无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害成分、细菌等污染物排除，并对室内温度、照明、压力、气流分布、静电等控制在某一需求范围内而特别设计的房间。

超净间等级

超净间的等级主要依照每立方英尺内大于等于0.5?m颗粒的数量来区分。