首页 > 仪器设备 > 匀胶设备

    匀胶机(WH-SC-01 2018款)

    • 型号WH-SC-01 2018款
    • 模式

    匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶,之后切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;实现启停可控,转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮,当进行高速运转时,关上上盖后,“安全开关”启动,运行过程中,上盖不能打开。可以起到保护作用。

    1. 详细信息

    1.台式匀胶机旋涂仪产品简介

    WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发完成,具有独立知识产权。

    匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制,三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶,之后切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;实现启停可控,转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮,当进行高速运转时,关上上盖后,“安全开关”启动,运行过程中,上盖不能打开。可以起到保护作用。

    点击下载产品说明书

    点击下载外观设计专利

    2.台式匀胶机旋涂仪技术参数

    ² 转速:300-4500RPM

    ² 时间控制:1--32767s

    ² 转速稳定性:±1%

    ² 胶的均匀性:±3%

    ² 参数设定:触摸屏设置参数

    ² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶

    ² 电源输入:AC220V±10V,50HZ

    ² 功率:60W

    ² 重量:13kg

    ² 外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D)

    ² 工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80%

    台式匀胶机旋涂仪外观图-正面汶颢台式匀胶机旋涂仪侧面图

    3.台式匀胶机旋涂仪特征图解

    汶颢台式匀胶机旋涂仪特征图解汶颢台式匀胶机旋涂仪特征图解2

    ①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关

    4.台式匀胶机旋涂仪操作说明

    1)选择合适的专用吸附盘(略小于样本尺寸),将缺口对准螺钉安装,吸附盘安装时一定要插入到底。

    2)开启电源,进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间,按工艺设置好转速和时间,点击“确定”。

    3)进入启动仪器界面,放片,要注意放正。打开真空,点击“吸盘”后点“启动,仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。

    4)滴胶,动作要快。在第一阶段运转时间内滴胶完毕,关上上盖;随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后,安全开关启动,必须等到仪器停止运行,上盖才能被打开。

    5)电机停转后,点击脱盘,吸片停止。打开上盖,取下片子。

    6)继续匀胶时重复以上步骤。

    8)匀胶结束后,关上上盖,切断电源。

    5.台式匀胶机旋涂仪维护清洗

    属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗

    1.正常使用半个月的;

    2.胶被吸入抽气室的;

    3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

    6.台式匀胶机旋涂仪常见故障排除

    下列故障非本机故障,用户可参考自行解决,若仍不能排除故障,请及时拨打本公司服务热线:0512-62525801,本公司将竭诚为广大用户服务。

    故障现象

    原因

    排除

    电机不转

    1.电源线没插好

    插好电源线

    2.保险管熔断

    换用同规格新的保险管

    硅片没吸住

    1.吸气管未插

    插好吸气管

    2.真空泵没开

    打开真空泵

    台式匀胶机旋涂仪安全注意事项

    拆开包装后,请按照装箱单详细检查配件,如有缺失,请联系销售商注意必须将所有包装和泡沫垫卸下,否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾

    操作前请详细阅读本说明全部内容,并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失,制造商将不承担。

    (1) 安置本仪器的桌(台)面应坚实平整,四只橡胶脚垫应与桌(台)面平稳接触,否则会产生仪器不平稳,从而导致超标准的震动,致使器件损伤或仪器停止运行。

    (2) 仪器工作时,操作人员不得倚靠在仪器上,非工作人员不得在非安全空间内逗留,匀胶机周围不得放置危险物品。

    (3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞。

    (4) 如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。

    (5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。

    (6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系,切勿自行打开机壳严禁非专业人员维修,维修时必须先拔下电源插头,防止事故发生。

    台式匀胶机旋涂仪装箱清单:

     

    名称

    单位

    数量

    匀胶机机体

    1

    电源线

    1

    专用吸附盘4寸

    标配

    专用吸附盘1寸、2寸、3寸、5寸

    选配

    无油真空泵

    选配

    使用手册

    1

    质检报告

    1

    合格证

    1

    保修卡

    1

    无油真空泵:又称干式真空泵,是泵的工作腔内没有任何介质,可以原汁原 味的回收气体。

     无油真空泵技术参数:

     1)型号:AP-550V 

    2)抽速:1.5 升/秒 

    3)功率:320W 

    4)噪音:58db 

    5)电压、频率:~220V/50HZ 

    6)最低真空度:-700mmHg 

    7)重量:5.8kg 

    8)外形尺寸:240×130×200mm

    注:清点包装箱内的附件和印刷资料,箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。



    标签:   匀胶机