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  • 微流控芯片加工过程中用到的仪器设备一、光刻工艺所需设备一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻过程中涉及到的试剂以及设备如下:光刻胶: 又称光致抗蚀剂,由感...2016-12-05 14:58:36
  • 不同材质微流控芯片的加工工艺于生命科学领域之外,也可用于化学分析应用。玻璃微流控芯片制备示意图如下:硅片:硅具有良好的化学惰性和热稳定性。单晶硅生产工艺和微细加工技术已趋成熟,...2016-12-05 10:43:18
  • 光刻胶的成份及其主要作用类型不同而不同;     光刻胶的主要技术参数     1、分辨率:区别硅片表面相邻图形特性的能力,一般用关键尺寸来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,...2016-11-18 09:35:14
  • 微流控芯片在生命科学领域的应用及发展前景过检测器对靶蛋白进行定性或定量分析;另一种就是微流控芯片,通过在玻璃片或硅片上设置各种微泵、微阀、微电泳以及微流路,可将生化实验室的分析功能浓缩固化...2016-11-17 13:11:54
  • 关于光刻胶你需要知道的一些参数      光刻胶的作用: 光刻胶能将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层中,并且在后续工序中保护下面的材料(刻蚀或离子注入)。光刻胶的参数:1、分辨率(resolution)。区别硅片表面相邻图形特征的能...2016-11-15 10:07:20
  • 微流控芯片键合方法。二、阳极键合     阳极键合是一种比较简单而有效的永久性封接玻璃片和硅片的键合方法,首先被用于含钠玻璃片和硅片的键合。在玻璃片和硅片上施加500...2016-11-03 10:54:07
  • 汶颢微流控芯片加工能力材质:可以加工所有材质的微流控芯片,包括PMMA、PDMS、玻璃、石英、硅片、金属等。技术手段:光刻、湿法刻蚀、注塑、数控加工、热压、激光刻蚀等。加...2016-11-01 14:06:48
  • 离心力驱动微流控芯片于硅很脆,在进行高压成型时通常要在阳模下键合一块5mm厚的玻璃片,以增加硅片阳模的机械强度。芯片的封装加工后的微通道是敞开的,为了使通道形成毛细管,...2016-11-01 10:31:27
  • 微流控分析芯片材料及其优缺点一、硅材料在微电子学发展的过程中,硅的微细加工技术已趋成熟。在硅片上可使用光刻技术高精度地复制二维图形,并可使用制备集成电路的成熟工艺进行加工及批量生产。即使复杂的三维结构,也可以用整体和表面微加工技术进行高精...2016-10-31 10:19:49
  • 微流控芯片键合方法及特点片,也不能用于不同热膨胀系数材料的封接。    一般地说,封接比在玻璃和硅片上刻蚀微结构更困难,热键合成品率也不高。二、阳极键合在玻璃、石英与硅片的...2016-10-27 09:13:10