- 微流控芯片加工技术介绍.2微流控分析芯片材料的特点 单晶硅优点：具有化学惰性和热稳定性；成熟加工工艺 ,可使用光刻和蚀刻等制备集成电路的成熟工艺进行加工及批量生产。缺点：...2017-08-15 12:32:28
- 中国科学院光电技术研究所研制出实用深紫外光刻机高、成本低，一直是使用面最广、使用数量最多的一种光刻设备。在现有的微纳加工工艺中，光刻机所采用的波段是决定光刻分辨力的重要因素之一。长期以来，国产光...2017-07-28 16:03:16
- 微流控芯片的材料用材料的不同特性，如，硬度、导电性能、疏水亲水性、透光性、抗腐蚀能力、加工工艺的可行性以及生物相容性等方面的差异，而且针对不同的芯片材料常常需要选择...2017-07-14 18:06:26
- 液态活检技术发展趋势分析从而使分离到的CTC保持一定的活力。虽然目前的微流控CTC芯片在设计、加工工艺上更复杂些，但其良好的分选效果、轻巧的体积、较少的进样体积、较高的灵敏...2017-02-14 10:07:07
- 集成微流控芯片简介度下， 流体的运动具有自己的特点， 与宏观尺度大不相同。 随着半导体微加工工艺技术在微流控芯片制备中的广泛应用， 以及使用弹性材料多层构建等新技术的...2017-01-22 09:54:59
- 微泵的分类以及优缺点分析足的是驱动电压高，体积冲程小，而且还需在微泵加入防止电路短路的绝缘膜，加工工艺要求高。热气驱动微泵热气驱动原理类似于蠕动型气动微泵，主要通过气体加热...2016-12-19 11:11:57
- MEMS湿法刻蚀和干法刻蚀的比较的圆片时，湿法腐蚀在成本和时间上的效益更突出。 不管选择干法还是湿法加工工艺，总是强烈受到在特定的加工环境下设备的可用性及对开发者有用的工艺限制。...2016-12-13 10:05:25
- 柔性微流控电子技术的应用介绍。 总结与展望 得益于液态合金良好的流动性和高导电性，柔性微流控电子在加工工艺、应用开发等方面都得到了很好的发展，预期在机器人表面皮肤设计、可穿戴电...2016-11-24 10:41:43
- 微流控芯片加工实验室组建实验室组建相关培训；光刻工艺培训；湿法刻蚀工艺培训；软注塑工艺培训；机加工工艺培训；芯片封合相关技术培训；其他常规微流控单元操控技术培训，如液滴形成...2016-11-08 08:58:30
- 微流控分析芯片材料及其优缺点微流控分析芯片。优点：具有良好的化学惰性和热稳定性良好的光洁度； 加工工艺成熟； 可用于制作聚合物芯片的模具等；缺点：易碎，价格贵； 不...2016-10-31 10:19:49
