- DNA纳米光刻构建高度有序的微流控纳米界面可重复地制备具有高精度尺寸的纳米级结构在技术上仍然具有挑战性。例如电子束光刻和纳米压印技术等虽可制备高分辨率纳米结构但由于依赖大型昂贵设备及多步处理...2020-05-20 11:17:35
- 如何为SU-8模具选择合适的光刻热板在实验室中常用两种设备来烘烤SU-8光刻胶，用于制造微流体模具：烘箱或热板。请注意，这里给出的SU-8光阻剂烘烤的建议也适用于微流体模具制造中涉及的其他类型的光刻胶(如AZ9260)。...2019-03-22 10:48:29
- 光刻工艺的评价标准合是由工艺集成（process integrated，PI）部门负责的。光刻工艺的输出就是光刻胶上的图形。一般集成部门对光刻胶上的图形有严格要求。如...2018-07-31 18:10:09
- 光刻工艺的成本一个在研的新光刻工艺最终是否被生产线采纳用于量产，不仅取决于其技术指标是否达到要求，更重要的是它能否为芯片生产带来足够的经济效益。芯片造价的30%~40%是花费...2018-07-25 08:40:00
- 现代光刻工艺研发各部分的职责和协作从最早被用于电路制造，光刻技术的发展已经走过了半个多世纪。在过去的半个多世纪中，除了光刻设备、材料和工艺的不断发展以外，光刻工程技术人员工作的职责和方式也在不断演化。首先...2018-07-12 09:55:41
- 芯片光刻的流程详解（下）、曝光（Exposure） 在这一步中，将使用特定波长的光对覆盖衬底的光刻胶进行选择性地照射。光刻胶中的感光剂会发生光化学反应，从而使正光刻胶被照...2018-07-12 08:59:24
- 芯片光刻的流程详解（上）在集成电路的制造过程中，有一个重要的环节——光刻，正因为有了它，我们才能在微小的芯片上实现功能。现代刻划技术可以追溯到190年以前，1822年法国人Nicephore niepce在各种材料光...2018-07-12 08:36:24
- 光刻技术图形转移工艺三：芯片刻蚀光刻和刻蚀是两个不同的加工工艺，但因为这两个工艺只有连续进行，才能完成真正意义上的图形转移，而且在工艺线上，这两个工艺经常是放在同一工序，因此，有时也...2018-06-07 08:49:02
- 光刻技术图形转移工艺二：光刻材料及设备1.光刻胶正胶负胶光刻胶也称为光致抗蚀剂，是一种光敏材料，它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。 光刻胶有...2018-06-07 08:41:19
- 光刻胶材料大家听多了光刻机、蚀刻机以及nm工艺这样的术语，对光刻胶还是十分陌生的。买回来的硅圆片经过检查无破损后即可投入生产线上，前期可能还有各种成膜工艺，然后就进入到...2018-06-05 08:50:37
