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  • 紫外光源:曝光系统最核心 a.有适当的波长。波长越短,可曝光的特征尺寸就越小;[波长越短,就表示光刻的刀锋越锋利,刻蚀对于精度控制要求越高,因为衍射现象会更严重。] ...2015-01-30 16:11:16
  • Creating Two-Dimensional Patterned Substrates for ...提供了一种通用的制备清晰可控的蛋白图案的技术。这个过程包含三个部分:通过光刻制备具有图案的母版,制备具有图案的PDMS,采用微接触印刷技术制备镀金基...2014-08-12 16:28:13
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