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• 投影式光刻机 Projection Photoetching Machines投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上，曝光系统通过一个狭缝式曝光带（slit）照射在掩模上，如1（a）所...2017-12-29 09:04:54
• 一文看懂光刻机制程和更高效率的生产需要。 创新一：实现步进式扫描投影。 此前的扫描投影式光刻机在光刻时硅片处于静止状态，通过掩模的移动实现硅片不同区域的曝光。 1...2018-05-16 08:59:54
• 光刻技术的基本原理膜版直接和光刻胶接触，会造成掩膜版的沾污。2.2投影式光刻     投影式光刻机在现代光刻中占主要地位，据调查显示，投影式光刻机约占整个光刻设备市场...2016-10-10 10:13:26
• 光刻机的简单介绍牌光刻机的品牌众多，根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类：高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间...2016-04-18 11:54:16