苏州汶颢微流控技术股份有限公司

首页 > 技术资讯 > 行业咨讯

正负光刻胶的缺点对比

一般来说线宽的用正性光刻,线窄的用负性光刻! 相对而言,正性光刻胶比负性光刻胶的精度要高,负胶显影后图形有涨缩,负性胶限制在2~3μm.,而正性胶的分辨力优于0.5μm 导致影响精度,正性胶则无这方面的影响。虽然使用更薄的胶层厚度可以改善负性胶的分辨率,但是薄负性胶会影响针孔。同种厚度的正负胶,在对于抗湿法和腐蚀性方面负胶更胜一筹,正胶难以企及。汶颢股份提供AZ系列和SU8系列光刻胶。

光刻胶使用过程中的注意事项

①若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶

②看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题

③负性胶价格成本低,正性胶较贵

④工艺方面:负性胶能很好地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽

⑤健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,对健康、环境无害

AZ系列光刻胶

AZ光刻胶

SU8系列光刻胶

SU8光刻胶



标签:   光刻胶