微纳加工 - 纯硅模具加工工艺 & 硅片模具_苏州汶颢微流控技术股份有限公司
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微纳加工 - 纯硅模具加工工艺 & 硅片模具

纯硅模具

以单晶硅为材质,利用高能束轰击衬底得到需要的高深宽比结构,该方法可以弥补光刻胶在高深宽方面的不足之处。

1.微纳加工——纯硅模具工艺流程

(a)硅片的清洗、烘干

(b)热生长氧化层

(c)光刻胶

(d)光刻

(e)显影

(f)去除氧化层

(g)ICP深刻蚀

(h)去除光刻胶

汶颢微加工纯硅模具加工工艺

2.纯硅模具加工说明

2.1一般采用正性光刻胶

正胶的优点:易去胶。

2.2刻蚀的流道截面不是标准的矩形

纯硅模具加工工艺

2.3刻蚀面较粗糙,刻蚀深度越深粗糙度越大


3.硅片模具

汶颢硅片模具产品图

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