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LIGA技术和准LIGA技术优缺点对比

准LIGA技术是用紫外光光源来代替LIGA技术中的同步辐射X光深层光刻,然后进行后续的微电铸和微复制工艺。它不需要像LIGA技术所需的同步辐射X光光刻和特制的X光掩模板,从而实现微机械器件的大批量生产。


 

 

 

特点LIGA技术 准LIGA技术     LIGA技术和准LIGA技术过程
光源同步辐射X光普通紫外光(波长为350-450 nm)
掩模板以金为吸收体的X射线掩模板标准铬掩模板
光胶常用聚甲基丙烯酸甲酯常用SU-8负光胶
深宽比 一般≤100,最高可达500一般≤10,最高可达30
胶膜厚度几十微米到1000μm 几微米到几十微米,最高可达680 μm
生产周期较长较短
生产成本 较高 较低,约为LIGA技术的1/100
侧壁垂直度大于89.9° 大于88°
最小尺寸 亚微米微米
加工温度常温至50℃左右 常温至50℃左右
加工材料 塑料、金属、陶瓷等塑料、金属、陶瓷等

 



标签:   LIGA技术