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• 光刻机的曝光模式a.接触式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。接触式，根据施加力量...2016-12-08 14:34:46
• 光刻机的“曝光模式”分类        a.接触式曝光（Contact Printing）：        掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩...2015-02-13 15:49:15
• 紫外单面光刻机选型指南：核心技术指标与市场对比分析持汞灯光源或UV-LED光源EVG 610在分辨率方面同样表现优异，且曝光模式灵活多样，支持背面对准和键合对准等功能。其定位更偏向于科研用户的入门级...2026-06-24 09:36:28
• 中国科学院光电技术研究所研制出实用深紫外光刻机为基台（已经销售550台，其中出口30多台），配有高精度对准模块、真空曝光模式、双面曝光模式、纳米压印模式、接近式模式、数字设定曝光间隙等诸多功能供...2017-07-28 16:03:16