- 微流控芯片在食品安全分析中的应用进展 s。Lichtfouse 等［27］利用鲁米诺的发光性质，将光刻法与湿法刻蚀技术相结合，使用成本很低的光电探测器，成功研 制出一种将试剂固定在微芯...2017-11-27 15:59:23
- 微电极在不同条件下的制备技术（-200℃到150℃）金属电极存在价格昂贵的缺点。微电极制备工艺如下图： 以ITO金属电极的湿法刻蚀工艺为例：过程结构如下图所示裁好、清洗感觉的ITO导电玻璃→涂胶、前烘...2017-11-01 15:46:09
- 微流控分析芯片的加工技术此透明薄膜可作为光刻用的掩模，基本能满足微流控分析芯片对掩模的要求。③湿法刻蚀在光刻过的基片上可通过湿刻和干刻等方法将阻挡层上的平面二维图形加工成具...2017-10-12 09:24:20
- 微纳加工- 玻璃芯片微反应器芯片、液滴发生芯片等。 1.微纳加工——微流控玻璃芯片加工方法湿法刻蚀：化学刻蚀液刻蚀玻璃；激光加工：激光束照射，熔融烧蚀蒸发；数控加工：铣...2017-10-09 16:38:00
- 生物芯片与微流控技术以在薄膜或基片上产生所需的微结构。根据刻蚀剂状态不同，可将腐蚀工艺分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。湿法刻蚀是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质间的化学反应将被...2017-08-22 11:04:10
- 微流控芯片加工技术介绍薄膜可作为光刻用的掩模，基本能满足微流控分析芯片对掩模的要求。 3.3湿法刻蚀在光刻过的基片上可通过湿刻和干刻等方法将阻挡层上的平面二维图形加工成具...2017-08-15 12:32:28
- 基于玻璃基材的微流控芯片加工工艺介绍，其中玻璃材料是制备微流道的高性能材料，现有常用的加工玻璃微加工工艺有湿法刻蚀、干法刻蚀、机械加工、超声波加工、激光加工、粉喷加工以及玻璃热成型等。...2017-07-19 14:27:54
- 微流控芯片技术在环境领域的应用个区域进行连续监测的情况下，仍需要快速、高效的检测工具。使用光刻法搭配湿法刻蚀技术，成功研制了一种微流控芯片，该芯片利用鲁米诺发光性质，成功地对硝酸...2016-12-19 15:58:40
- 光刻胶发展历程叠氮系光刻胶。因为该胶在硅片上具有良好的粘附性，同时具有感光速度快、抗湿法刻蚀能力强等优点，在20世纪80年代初成为电子工业的主要用胶。4、1990...2016-12-07 14:25:53
- 微反应器的发展及其制造三类：一是由IC（集成电路）平面制作工艺延伸而来的硅体微加工技术：包括湿法刻蚀（各向同性刻蚀和各向异性刻蚀）、干法刻蚀（溅射刻蚀、等离子刻蚀）。二是...2016-12-02 13:59:51
