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• 光刻机的分类光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、等工序Photolithography（光刻） 意思是用光...2015-02-13 15:17:06