- 光刻工艺的评价标准步长改变聚焦值，另一个方向以另一个固定的步长改变曝光能量，如图所示。曝光显影完成后，测量晶圆上图形的尺寸，得到所谓的“bossung”图，假设所要的...2018-07-31 18:10:09
- 光刻工艺的成本+Cc+CrQrwNc)/Ng+Cm/Nwm式中，Ce是每年光刻机、匀胶显影机的成本（包括折旧费、设备维护费和安装调试费用）；Cl是每年光刻技术人员...2018-07-25 08:40:00
- 核酸等温扩增技术在微生物快速检测中的研究进展的引入使得即使存在非目的 DNA 的情况下，也不会 对靶序列的扩增产生明显影响 ；其次，LAMP 扩增 效率高，由于存在多个循环体系，可实现高效扩增...2018-07-24 08:51:01
- 新型DNA生物传感器芯片实现高灵敏度实时检测单核苷酸多态性A、C、G或T）的变化。这是典型的基因突变类型。大多数SNP对健康没有明显影响，但也有少数会增加发生病理状况的风险，如糖尿病、癌症、神经退行性疾病、...2018-07-18 08:36:03
- 现代光刻工艺研发各部分的职责和协作设备应用equipment applications1.负责光刻机和匀胶显影机的性能监控。发现问题及时停机，并协调设备供应商解决2.建立光刻机工作文...2018-07-12 09:55:41
- 芯片光刻的流程详解（下）化学成分发生变化。这些化学成分发生变化的区域，在下一步的能够溶解于特定的显影液中。在接受光照后，正性光刻胶中的感光剂DQ会发生光化学反应，变为乙烯酮...2018-07-12 08:59:24
- 芯片光刻的流程详解（上）维基百科的定义，这是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在...2018-07-12 08:36:24
- 微流控分析芯片上生化反应技术研究进展_描检测。Kang 等 [51 ]将高通量的微流控混合反应器与孔板中荧光 显影检测相结合 ,利用压力驱动的浓度梯度混合器 使酶底物形成一系列浓度 ,同...2018-07-10 08:56:18
- 负压驱动皮升级等温核酸精确定量微流控芯片65 ℃和95 ℃分别烘烤3 min和12 min。最后, 将硅片浸泡在显影液中, 洗去未曝光的光胶。最后升温至250 ℃, 烘烤30 min, 将...2018-07-10 08:46:34
- 光刻技术图形转移工艺三：芯片刻蚀称为光刻。 刻蚀就是将涂胶前所淀积的薄膜中没有被光刻胶（经过曝光和显影后）覆盖和保护的部分去除掉，达到将光刻胶上的图形转移到其下层材料上的目的...2018-06-07 08:49:02
