- 微流控芯片在食品安全分析中的应用进展。Lichtfouse 等［27］利用鲁米诺的发光性质，将光刻法与湿法刻蚀技术相结合，使用成本很低的光电探测器，成功研 制出一种将试剂固定在微芯片上...2017-11-27 15:59:23
- 微流控分析芯片的加工技术·材料表面的可修饰性和可密封性。1. 光刻（lithography)和刻蚀技术（etching)①光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进行微制造 ,...2017-10-12 09:24:20
- 上海交大团队研发柔性微管获开拓性进展性微流控芯片技术的发展奠定了基础。不仅如此，这项技术创新还为缺乏超净光刻蚀技术的终端用户提供了简单、便宜、高效搭建功能化微流控芯片的解决方案，使得微...2017-10-10 08:43:23
- 基于电化学刻蚀与微电铸工艺，此方法直接改变了铸层与基底的结合方式，提高了结合强度 。 掩膜电化学刻蚀技术根据金属阳极溶解的原理加工基板，具有电流密度小、阴阳极间隙大、尺寸精度...2017-10-10 08:38:48
- 微流控芯片层流技术而有效控制细胞 ,实现对细胞的进一步分析检测。 如图4所示 ,采用层流刻蚀技术 ,通过控制流体的流量大小 ,按照微通道加工需要 ,调节蚀刻剂和非蚀刻...2017-08-24 09:50:32
- 生物芯片与微流控技术方法进行处理，不会对环境造成污染。4.微流控芯片的制作技术（1）光刻和刻蚀技术 传统的用于制作半导体及集成电路芯片的光刻和刻蚀技术，是微流控芯片加...2017-08-22 11:04:10
- 微流控芯片加工技术介绍低；表面改性的方法待进一步研究。 3.光刻(lithography)和刻蚀技术(etching)3.1微流控光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进行...2017-08-15 12:32:28
- 新途径！无需光刻胶，多种纳米材料通过光刻形成图案感光的光刻胶，从而使得掩膜版上的图案被复制到光刻胶薄膜上；最后，再利用刻蚀技术，将图案转移到硅基片上。通过反复多次以上的步骤，最终在材料上制造出晶体...2017-08-03 16:41:44
- 微流控芯片技术在环境领域的应用域进行连续监测的情况下，仍需要快速、高效的检测工具。使用光刻法搭配湿法刻蚀技术，成功研制了一种微流控芯片，该芯片利用鲁米诺发光性质，成功地对硝酸钴进...2016-12-19 15:58:40
- 光刻蚀的基本工序进行微制造，它的工艺成熟，已广泛用于硅、玻璃和石英基片上制作微结构。光刻蚀技术由薄膜沉积、光刻和刻蚀三个工序组成。 主要包括： ...2016-09-22 16:02:38
