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  • 微流控芯片在生命科学领域的应用及发展前景热好、强度大、价格适中、纯度高和耐腐蚀等优点,但绝缘性和透光性较差,深度刻蚀困难、硅基片的粘合成功率低影响了硅的应用。玻璃是现今使用得最多的一种芯片...2016-11-17 13:11:54
  • 关于光刻胶你需要知道的一些参数掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层中,并且在后续工序中保护下面的材料(刻蚀或离子注入)。光刻胶的参数:1、分辨率(resolution)。区别硅片...2016-11-15 10:07:20
  • 普通实验室玻璃芯片的简易加工技术作微流控芯片。玻璃微流控芯片的加工技术由掩膜制作、光刻曝光、显影、除铬、刻蚀、芯片切割与钻孔和热键合等步骤组成。一、掩膜制作    利用corelD...2016-11-08 16:32:56
  • 微流控芯片加工实验室组建计根据目前微流控芯片材质,微流控芯片加工实验室大致可以分为光刻实验室、软刻蚀实验室、机加工实验室,根据应用需求,可以配置封合实验室、检测实验室等。微...2016-11-08 08:58:30
  • 普通实验室玻璃芯片的简易加工技术作微流控芯片。玻璃微流控芯片的加工技术由掩膜制作、光刻曝光、显影、除铬、刻蚀、芯片切割与钻孔和热键合等步骤组成。一、掩膜制作       利用cor...2016-11-04 10:03:34
  • 微流控芯片键合方法、低温键合。无论采用何种键合方式,基片在键合前均需进行严格的清洗。原因:刻蚀后玻璃基片表面会残留较多的有机物和无机颗粒、尘埃等,直接造成表面的平整出...2016-11-03 10:54:07
  • 汶颢微流控芯片加工能力有雄厚的微流控芯片加工能力,保持国内芯片加工领域先进地位,配置了先进的软刻蚀有机芯片加工系统、光刻-掩膜无机芯片加工系统、数控CNC微加工系统,可以...2016-11-01 14:06:48
  • 微流控芯片键合方法及特点一、热键合    对玻璃和石英材质刻蚀的微结构一般使用热键合方法,将加工好的基片和相同材质的盖片洗净烘干对齐紧贴后平放在高温炉中,在基片和盖片上下方各放一块抛光过的石墨板,在上面的石...2016-10-27 09:13:10
  • 光刻胶种类及其成分最常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。3、负性电子束光刻胶为含有环氧基、乙烯基或环硫化物的聚...2016-10-26 09:17:13
  • 光刻胶使用过程中的注意事项影时间不足或温度低,则感光部位的光刻胶不能够完全溶解,留有一层光刻胶,在刻蚀时,这层胶会对膜面进行保护作用,使应该刻蚀的膜留下来。若显影时间过长或温...2016-10-25 14:16:20