- 微流控芯片层流技术体形成的两层界面之间发生沉淀反应形成方解石和磷灰石颗粒的过程④微流控层流刻蚀加工技术多相层流微流控体系也发展并完善了微芯片的加工技术。普遍被应用的微...2017-08-24 09:50:32
- 光刻胶及光刻工艺流程膜板上的图形转移到晶圆表面顶层的光刻胶中；在后续工序中，保护下面的材料（刻蚀或离子注入）。②光刻胶的成分树脂：光刻树脂是一种惰性的聚合物基质，是用来...2017-08-23 10:15:02
- 生物芯片与微流控技术英作基体材料时，通常使用各向同性腐蚀技术，很难获得高深宽比的微结构，深度刻蚀困难，键合温度高和键合成品率低，使芯片性能难以改善，且需要相应的洁净条件...2017-08-22 11:04:10
- 微流控合成条件技术选择片的制作技术主要包括：热压法、模塑法、注塑法、激光烧蚀法、LIGA法和软刻蚀法等。1.微流控表面改性技术为什么要表面改性？微流控芯片中比表面积大，表...2017-08-21 11:03:20
- 光刻胶基础知识。最常用的有AZ 系列光刻胶。正胶的主要优点是分辨率高，缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。3.3 负性电子束光刻胶为含有环氧基、乙烯基或环硫化物...2017-08-21 10:09:09
- 新型多触发极紫外光刻胶材料期。另一个优势是，该光刻胶是有机的，这意味着可以利用现成的金属还原技术和刻蚀工艺。使用现有的刻蚀工序不需要进行昂贵且漫长的新的刻蚀工艺的研发。 与现...2017-08-17 11:54:14
- 微流控芯片加工技术介绍数低；表面改性的方法待进一步研究。 3.光刻(lithography)和刻蚀技术(etching)3.1微流控光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进...2017-08-15 12:32:28
- 光刻胶（Photo Resist）知识大全膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层中；2、在后续工序中，保护下面的材料（刻蚀或离子注入）。 光刻胶起源光刻开始于一种称作光刻胶的感光性液体的应用。图...2017-08-10 14:58:20
- 新途径！无需光刻胶，多种纳米材料通过光刻形成图案未感光的光刻胶，从而使得掩膜版上的图案被复制到光刻胶薄膜上；最后，再利用刻蚀技术，将图案转移到硅基片上。通过反复多次以上的步骤，最终在材料上制造出晶...2017-08-03 16:41:44
- 基于玻璃基材的微流控芯片加工工艺介绍其中玻璃材料是制备微流道的高性能材料，现有常用的加工玻璃微加工工艺有湿法刻蚀、干法刻蚀、机械加工、超声波加工、激光加工、粉喷加工以及玻璃热成型等。湿...2017-07-19 14:27:54
