- 中国大陆将迎来首台EUV光刻机和测试等环节后，大约又需耗时一个月。不过，如果这家芯片代工厂采用EUV光刻技术，所用生产时长将会大幅缩短，并且产品良率也会提高很多。EUV最大的优点...2017-10-25 09:28:40
- 光刻胶和光刻的基本流程OF）：成像时得到最好分辨率的焦距。硅片表面起伏对分辨率的限制。下一代光刻技术：极紫外光（EUV ）λ=10~14n；电子束光刻 λ=0.04nm；...2017-10-10 08:50:00
- 3D打印让微流控产业加速腾飞3D打印机起步。因此，他们在制成芯片的同时，也造就了采用数字光处理立体光刻技术的高分辨率3D打印设备。这项成果可能首先被用于早产预测的相关研究。 ...2017-10-09 17:42:30
- SU-8 光刻胶及光刻工艺 提供了一 种加工高分辨率和高深宽比的MEMS结构的有效方法。SU-8光刻技术相对于LIGA 技术其成本低, 加工周期短, 与半导体工艺的兼容性好,...2017-08-31 11:32:06
- 微流体系统的优势及应用物、化学到信息技术、光学等多个领域。图为微流体芯片示例微流体系统可使用光刻技术来实现。聚二甲硅氧烷（PDMS）等聚合物已经替代硅和玻璃来加工微流体芯...2017-08-30 10:31:30
- 集成微流控芯片设计图打印在透明胶片上替代价 格昂贵的传统铬版掩膜; 再将光刻掩膜利用光刻技术将掩膜图案转移到涂有光刻胶的硅片上. 以SU-8负性光刻胶为例, 需要...2017-08-29 10:02:02
- 生物芯片与微流控技术微流控芯片设计图案通过曝光成像的原理转移到光胶层上的工艺过程称为光刻。光刻技术一般有以下基本工艺过程构成： ①基片的预处理。通过脱脂、抛光、酸洗、...2017-08-22 11:04:10
- 面对垄断，自主研发高端光刻机实现国产化替代势在必行名词，但它却是制作大规模集成电路的中心配备，每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的铸造。 简略地说，光刻机就是把工程师的规划‘印入’基底资料，其中心技...2017-08-10 14:36:55
- 微流控光刻仿生螺旋微型马达造工艺往往比较复杂，而且难以量产。近日，东南大学赵远锦教授课题组将流体光刻技术集成于微流控螺旋纺织体系，开发了一种新型的连续制备仿生螺旋微马达的方法...2017-08-07 08:41:09
- 新途径！无需光刻胶，多种纳米材料通过光刻形成图案一个十分微小的开关，它又称为“晶体管”。然而，说起晶体管的制造，其中“光刻技术"起到了十分重要的作用。光刻技术的成熟度，直接决定了单位圆晶片上可以集...2017-08-03 16:41:44
