- 显影工艺及显影喷嘴的应用不断减小，工艺水平已经进入亚微米级别，并且仍然不断减小级别。IC制造对光刻工艺的技术要求也随之更高。光刻工艺中的显影工艺也经历了几个世代的发展。在显...2022-08-12 16:28:13
- 微流控芯片制造方法C膜作为气体扩散屏障，微流体通道由PDMS膜隔开。制造工艺为：采用传统光刻工艺在硅晶片上图案化负光刻胶制作母板，混合碱和固化剂制作PDMS基板，硅烷...2022-05-09 13:17:27
- 影响匀胶机旋涂仪性能和厚度参数，它可以用来制备膜厚度<10nm薄膜，在1-100um厚度的光刻胶沉积光刻工艺中也常常用到。在微流控领域，载玻片、硅片、ITO导电玻璃等都可作为薄膜...2022-04-22 15:19:59
- PDMS-玻璃键合芯片完整工艺作 在制作芯片阳膜之前，提前要做好掩膜版（Mask），主要作用是在后续光刻工艺中遮挡特定区域，从而将设计的图形转移到光刻胶上。具体过程为：首先用L-...2022-03-31 14:37:35
- WH-XY-01 显影机H-XY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品， 针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对 7 英寸以下规格的硅片进行程控式自动...2021-12-15 10:14:13
- PDMS芯片加工过程:使用SU-8模具进行PDMS的光刻复制文旨在为如何做PDMS光刻复制提供基础知识，PDMS光刻复制又被称为软光刻工艺。这里给您提供一些技巧和窍门，使PDMS光刻复制就像按按钮一样简单易行...2021-12-10 16:49:55
- PTL-CSK500等离子表面处理机-宽幅金线绑定前处理。5、LCD制程应用ACF绑定前清洗活化；PR灰化清洗；光刻工艺前清洗；PI印刷前清洗；COG绑定前清洗；RGB印刷前活化处理；6、光...2021-01-28 14:55:33
- 3D打印软光刻法制备复杂分区微流体神经装置，为帕金森病的体外研究提供了平台法不适用于实现具有高纵横比壁和明确微结构的开室设计。图2.3D打印的软光刻工艺的图形表示：a）在图形编辑软件中创建隔室微流控设备的设计。b）使用标准...2020-09-17 16:18:42
- 小小滑动壁设计，帮助微流控装置实现制造工艺大突破nzac等人提出了一种微流控驱动的新概念，称之为“滑动壁”。该方法与软光刻工艺兼容，但是不需要外部设备。它可以手动操作，并且可以集成在单个元器件中。...2020-04-20 08:43:48
- 毛红菊利用磁珠和微柱阵列芯片进行低成本定量检测核酸列芯片。芯片的制作流程，见图2，首先，将光刻胶自旋涂覆在硅片上，并采用光刻工艺进行图形化,。在此基础上，采用深反应离子蚀刻技术进一步形成晶圆内的微孔...2019-10-22 13:22:51
