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首页 > 站内搜索 > 全站搜索  '关键字: 光刻工艺'
  • 微流控技术三十年发展史(四),然而,取代氧气,使用氟碳和氯等反应气体的等离子体来蚀刻衬底-通常是以光刻工艺定义的图案。由于等离子体可以由电极引导,这是以各向异性的方式完成的。等...2023-01-19 09:57:35
  • 微流控技术三十年发展史(一)精细的细节,从而使肖克利、布拉顿和巴丁等半导体设备能够在硅中制造。这是光刻工艺(如图2所示),它后来成为微电子制造的标准。德克萨斯仪器公司的杰克·基...2023-01-17 10:02:20
  • 软光刻:SU-8烘烤教程(适用于烘胶台),将作为PDMS铸造的模板。在SU-8母版的制作过程中,通常是基于标准光刻工艺,SU-8光刻胶的薄膜必须烘烤几次,如图1所示。图1:用于制作SU-8...2022-12-06 09:05:42
  • 多温区烘胶台(WH-HP-03)-HP-03多温区烘胶台是汶颢股份自主开发,具有独立知识产权,可以用于光刻工艺中的前烘、中烘和后烘,并具有分段式程控升温。该设备采用PID控温系统自...2022-10-31 08:42:50
  • WH-XQY-01 自动喷淋显影清洗一体机H-XQY-01)是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品,针对光刻工艺中的显影与清洗过程而设计开发的,可以进行程控式自动化显影与清洗。该设备...2022-10-28 15:53:17
  • WH-PXY-01 喷淋式显影机H-PXY-01)是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品,针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的,可以对7英寸以下(含7英寸)规格的硅片进行程...2022-10-10 11:02:16
  • WH-DJ-01 点胶机说明书1.点胶机产品简介WH-DJ-01点胶机是针对微流控芯片实验室中光刻工艺的点胶过程开发的,对光刻工艺中光刻胶(高、低粘度)及增粘剂的定量点胶功...2022-10-10 10:00:23
  • 光刻胶的特性及工艺流程。一般用关键尺寸来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。光刻工艺中影响分辨率的因素有:光源、曝光方式 和 光刻胶本身(包括灵敏度、对比...2022-09-23 08:42:39
  • 光刻胶的主要成分和技术参数达到想要的图形尺寸,而且针孔密度更低。 (10)阶梯覆盖度。晶圆在进行光刻工艺之前,表面已经有了很多的层。光刻胶要能起到阻隔刻蚀的作用,必须在以前层...2022-09-19 08:34:41
  • 光刻胶SU-8涂胶工艺解析(Back-End,即封装测试)设备两大类。涂胶/显影机在前道工艺中是光刻工艺重要环节的设备,在后道工艺中主要应用封装技术的涂胶、显影等工序。后道先...2022-09-16 08:26:41