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  • 微流控芯片加工:PDMS软刻蚀技术和聚合物成型介绍微流控芯片大致可以分为三种类型:PDMS芯片、聚合物芯片(COC、PMMA、PC等)和玻璃芯片。三种不同类型的芯片各有不同的加工方法。本文主要介绍PD...2017-12-28 09:32:10
  • 微流控芯片的环氧树脂SU-8模具制作技巧在微流控芯片加工过程中,通常都会用到模具,尤其是在PDMS芯片加工的过程中。PDMS芯片加工通常采用软光刻技术来制作。为了执行PDMS软光刻技术的加工...2017-12-15 10:09:37
  • URE-2000S/A型光刻机度 8、汞灯功率:1000W(直流) 9、最大胶厚:400mm(SU8胶,用户提供匀胶显影条件) 10、曝光方式:定时(倒计时方式) ...2017-10-30 16:48:01
  • URE-2000A型光刻机:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度 ◆ 最大胶厚:500m(SU8胶,用户提供匀胶条件) ◆ 光源平行性:3.5 ◆ 汞灯功率:1...2017-10-30 16:39:48
  • URE-2000B型光刻机.8μm(胶厚2μm的正胶)◆对准精度:±1μm◆最大焦厚:600mm(SU8胶,用户提供检测条件)◆曝光波长:365nm◆光源平行度:2?◆掩模样片...2017-10-30 16:34:18
  • 光刻胶和光刻的基本流程1、芯片图形的转移和实现电路图形(EDA设计)—(投影和离子束曝光)—掩膜版—(光刻)—光刻胶—(刻蚀/注入)—芯片2、光刻的基本原理光刻是通过光化合...2017-10-10 08:50:00
  • 微流控芯片加工常用仪器设备、耗材及配件一、微流控芯片加工设备1、PDMS芯片加工设备:匀胶机、烘胶台、光刻机、真空干燥箱、PDMS打孔机、PDMS切割机、WH-AM-01 微流控芯片对准平...2017-10-10 08:48:08
  • 微泵的分类及介绍微泵作为微流体系统的“心脏”,是微流体输送的动力源,也是微流体系统发展水平的重要标志。作为一种重要的微型执行部件,微泵还可广泛应用于药物输送、血液运输...2017-10-09 19:00:04
  • 正负光刻胶的缺点对比对于抗湿法和腐蚀性方面负胶更胜一筹,正胶难以企及。汶颢股份提供AZ系列和SU8系列光刻胶。光刻胶使用过程中的注意事项:①若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光...2017-10-09 17:41:05
  • SU-8光刻胶光刻工艺SU-8光刻胶工艺路线及工艺流程1) 对衬底进行清洗,并在200℃烘30分钟以上以去除表面水分子2) 用厚胶甩胶工艺在基片表面旋涂所需要厚度的SU-8...2017-10-09 17:36:09