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- 激光键合与真空热压键合的区别使用的是键合技术是：共熔键合技术和阳极键合技术。共熔键合技术已用到多种MEMS器件的制造中，如压力传感器、微泵等都需要在衬底上键合机械支持结构。硅的...2022-10-08 08:39:09
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- 可自主伸缩的声学虚拟微流控技术术弥补了声流控技术在纳米尺度生物粒子操控的不足。该系统由特殊形状设计的MEMS千兆赫兹（即109 Hz）体声波谐振器与微流道集成设计而成（图1）。每...2022-08-29 11:29:50
