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  • 传统光学的曝光技术有哪些机电系统(MicroElec2troMechanicalSystem,MEMS)器件,尤其是信息MEMS 和生物MEMS。美国采用光学投影光刻工艺已...2015-01-30 16:31:49
  • 微流控细胞芯片的微型化与集成化加工技术(Microelectromechanicalsystems,MEMS)的发展,微流控芯片进入了一个迅速发展的时期,各种基于微流控芯片的操作...2015-01-29 16:25:33
  • 芯片实验室的发展方向加完善的方向发展。        1.芯片制造由手工为主的微机电(MEMS)技术生产逐渐朝自动化、数控化的亚紫外激光直接刻蚀微通道方向发展。 ...2014-06-13 10:11:27
  • 物联网新兴市场庞大未来或超460亿美元工业和服务领域将看到强烈的收敛迹象:       * 电子行业,如MEMS和传感器       * 通信和云存储行业,如数据传输、存储和处理...2014-06-12 16:18:35
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