- 新型多触发极紫外光刻胶材料制使得图形边缘处的化学梯度增加，同时减小酸的扩散。图1 （a）应用于极紫外光刻的传统化学放大胶的机理；（b）高剂量区域的多触发机制；（c）低剂量区域...2017-08-17 11:54:14
- 中国科学院光电技术研究所研制出实用深紫外光刻机学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功波长254nm的实用深紫外光刻机（Mask aligner），光刻分辨力达到500nm。 光刻机因...2017-07-28 16:03:16
- 紫外光刻机的工作条件
紫外线光刻机是 印制板制造工艺中的重要设备。传统光刻机的玻璃-迈拉晒架在生产过程中需要人工赶气,迈拉膜需要经常更换。由于冷却系统过...2015-01-30 16:02:14
- 微流控芯片制备加工方法为常见的微流控芯片制备加工方法有：① 丝网印刷 ② 喷墨打印 ③ 紫外光刻（Ultra-Violet，UV）技术 ④ 电子束直写（Electr...2024-03-05 10:20:27
- 基于流动聚焦微流控芯片的液晶微滴制备及传感响应分析了微滴尺寸对检测性能的影响。实验仪器与试剂URE-2000 / 25 紫外光刻机；微注射泵；数显鼓风干燥箱；等离子清洗仪；真空干燥箱；水浴锅；电子天...2023-12-29 11:00:24
- 基于液滴微流体的微流控芯片系统的研究s 压力泵、硅片、SU-82025光胶、等离子清洗机、匀胶机、加热台、紫外光刻机、微流控芯片、PDMS实验过程：液滴微流控芯片整合控制系统的搭建 激...2023-11-14 10:18:22
- 液滴微流控系统在数字聚合酶链式反应中的应用研究进展ze等制作的高速微液滴发生微流控芯片，芯片采用了软光刻的方法，使用传统紫外光刻技术对SU-8进行曝光冲洗后，利用SU-8作为模具，对PDMS进行倒模...2023-11-09 10:57:23
- 一文了解SU-8光刻胶分辨率等优点。 （化学放大光反应示意图）按照曝光波长分类；光刻胶可分为紫外光刻胶（300~450nm）、深紫外光刻胶（160~280nm）、极紫外光...2023-07-25 08:58:21
- 处于中国军民担忧中的芯片制造机器。这种带有数十亿或数万亿个晶体管的晶片最终会被制成计算机芯片。国产双面紫外光刻机一台EUV机器由超过10万个部件组成，成本约为1.2亿美元，装在40...2022-12-01 10:59:39
- 光刻胶的特性及工艺流程胶行业简况 从国内的相关产业对光刻胶的需求量看，目前主要还是以紫外光刻胶的用量为主，其中中小规模和大规模集成电路企业、分立器件生产企业对于紫...2022-09-23 08:42:39
