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• 光刻机三种曝光方式优缺点对比接触式曝光接触式曝光是将掩膜与待加工基片的光胶层直接接触进行的曝光。掩膜和基片通过机械装置压紧或通过真空吸住等方法实现两者紧密接触。优点：设备简单、造...2017-10-25 09:49:06