- URE-2000/35型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000/35型光刻机
技术特征：◆适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）◆采用三爪找平，...2017-10-30 16:50:00
- URE-2000S/A型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000S/A型光刻机
技术参数：
1、曝光面积：150 mm×150mm
2、分辨力：1μm（胶厚2μm的正胶）
...2017-10-30 16:48:01
- URE-2000/25型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000/25型光刻机
产品特点：
1、采用多反射镜实现均匀照明；
2、超精密手轮对准调节 ；
3、...2017-10-30 16:47:21
- URE-2000S/25型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000S/25型光刻机
技术参数：
1、曝光面积：100 mm×100mm（可升级为150 mm×150mm）
2、...2017-10-30 16:45:25
- URE-2000A型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000A型光刻机产品特点：
◆ 曝光面积：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）
◆ ...2017-10-30 16:39:48
- URE-2000B型光刻机产品名称：
中国光电URE-2000B型光刻机URE-2000B型紫外光刻机主要技术特点： 该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增...2017-10-30 16:34:18
