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苏州汶颢具备哪些微流控芯片加工工艺

微流控芯片最初只是作为纳米技术革命的一个补充,在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后,最终却实现了商业化生产。随着材料科学。微纳米加工技术和微电子所取得的突破性进展,微流控芯片也得到了迅速发展。


苏州汶颢芯片科技有限公司(简称”苏州汶颢”)具备雄厚的微流控芯片加工能力,保持国内芯片加工的领先。配置了先进的软刻蚀有机芯片加工系统、光刻-掩膜无机芯片加工系统、数控CNC微加工系统,可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC等所有材质微流控芯片。

微流控芯片加工工艺

http://www.whchip.com/an/show.php?lang=cn&id=300&theme_preview=1

苏州汶颢具备哪些微流控芯片加工能力:


1、光刻工艺

    能够在硅片上进行光刻操作,光刻7英寸向下兼容,加工极限2μm,有三层以上光刻加工能力;


2注塑成型工艺

可利用硅片模具、玻璃模具、金属模具或塑料模具进行PDMS芯片的注塑成型加工。


3、数控CNC工艺(PMMA、PC、ABS等其他聚合物芯片)

利用数控CNC加工中心、可以加工线宽在100μm以上,深度在10μm以上的聚合物芯片,芯片整体尺寸在40*40cm以内。


4、玻璃加工工艺

激光或者CNC加工玻璃材质芯片,管道加工误差可以在10μm以内,切割误差可以在20μm以内。湿法刻蚀宽深比>2:1,通道内壁光滑。

5、磁控溅射工艺

可以在硅片或者玻璃上溅射金属,加工能力6英寸向下兼容,金属厚度可控;可以进行多层的金属溅射;可以对硅片或者玻璃上溅射金属进行图案化,极限线宽5μm。


6、其他加工工艺

金属芯片——主要是铝和镍的芯片;相关进样系统和垫圈的定制;硅刻蚀&深硅刻蚀—化学方法刻蚀和ICP刻蚀。

微流控芯片加工

     苏州汶颢,在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位,申请国家专利89项,其中授权20余项,已经获批注册商标2件,软件著作权7件,江苏省高新技术产品3项,建立企业标准5项。



标签:   微流控
手持式PDMS打孔器