首页 > 技术资讯 > 行业咨讯

微流控分析芯片材料及其优缺点

一、硅材料

微流控芯片

在微电子学发展的过程中,硅的微细加工技术已趋成熟。在硅片上可使用光刻技术高精度地复制二维图形,并可使用制备集成电路的成熟工艺进行加工及批量生产。即使复杂的三维结构,也可以用整体和表面微加工技术进行高精度的复制。因此,它首选被用于制作微流控分析芯片。

优点:具有良好的化学惰性和热稳定性良好的光洁度;

   加工工艺成熟;

   可用于制作聚合物芯片的模具等;

缺点:易碎,价格贵;

   不能透过紫外光;

   电绝缘性能不够好;

   表面化学行为教复杂;


二、玻璃石英

微流控技术

优点:很好的电渗性质;

          优良的光学性质;

          可用化学方法进行表面改性;

          可用光刻和蚀刻技术进行加工;

缺点:难以得到深度比大的通道;

          加工成本较高;

          封接难度较大;


三、有机聚合物

微流控芯片加工

优点:成本低、品种多;

          能通过可见与紫外光;

          可用化学方法进行表面改性;

          易加工得到宽度比大的通道;

          可廉价大量地生产;

缺点:不耐高温;

         导热系数低;

         表面改性的方法尚不够成熟;



标签:   微流控
手持式PDMS打孔器