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微流控微孔加工技术

微孔加工,是传统加工里很难的技术,属于微细加工的一部分。这些微型小孔只有在高倍显微镜下才能看的到。

目前微孔加工的方式有三种,分别是电火花,机械,激光。

首先是电火花加工,最小可以加工0.08mm直径的微孔,但是其微孔孔壁会留下再铸层,从而影响微孔的适用寿命,使得微孔的孔壁表面质量发生恶化。

其次是机械钻孔,其钻头非常容易断裂,而且在微孔的出口处会留下毛刺,这种毛刺会影响适用效果。

最后是激光加工,激光可以直径非常小的孔,最小可至0.001mm,但一般激光加工会是一个喇叭口状的微孔。

零件的材质对加工方案的选择影响重大,有些特殊材料,如蓝宝石,由于其高硬度,激光加工是其唯一的选择。

而陶瓷材料,硬度高,并且具有一定的脆性,普通机械或者激光可以加工,但对于一些厚度很薄,且对精度要求偏高的陶瓷,上述方式便有些困难

对于金属材料的微孔加工,很多时候机械便可以做到,但如果孔径更小,如达到80um以下,就只能采用激光加工方式。金属的深孔加工是未来的一个趋势。硅片微孔工艺也越来越受到重视。但硅片硬脆的特性为加工带来了难度。

玻璃在工业中应用十分广泛,镀膜玻璃,钢化玻璃,石英玻璃等都是经常需要加工的材料。大多数人会认为钢化玻璃不可再加工,其实不然,钢化程度在一定程度之下是可以加工的。而石英玻璃的硬度要比一般玻璃高很多,也属于较难加工的类别。

玻璃微孔加工只是一个统称,根据材料及要求不同,应用的方面千差万别。比如载玻片微孔 ITO玻璃微孔石英玻璃微孔高硼硅玻璃微孔等等。玻璃微孔是一种粒状多孔玻璃,刚性好,机械强度高,主要用于生产高硅氧玻璃,应用于生物工程,遗传工程、生物和药品的精制及固化酶。

载玻片多用于实验室生物研究,通常这类微孔对孔径精度要求较高,根据客户要求定制。ITO玻璃微孔跟载玻片类似,多用于研究。

高硼硅玻璃打孔很多时候都是密集打孔,即在一片玻璃上打几十甚至上百个微孔,此类打孔最容易出现崩边问题。

玻璃微孔加工用途

玻璃微孔由于它特有的组成、结构和所具有的特性,现已发展成为具有许多用途的新功能材料。

在化学工业上,可作为高温用气体分离膜、汽体分离膜、反应分离膜、电解隔膜、超滤和反渗透等用的膜来进行混合气体的分离或混合液体的分离。还可以作为催化剂的载体、各种吸附剂及气液浓缩的材料。

在医学上,可作为血液净化等医疗用分离膜。

在生物学上,可作为固定化酶的载体,使酶保持稳定的催化活性,使生物化工的工艺过程实现连续化与自动化。

汶颢采用玻璃微孔加工微流控化学合成芯片

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