匀胶机旋涂仪常见问题及维护措施

旋涂仪匀胶机在日常使用过程是需要进行细致维护的，当然难免也会遇到一些故障问题，下面分享几个常见的故障问题以及如何维护，包括基材污染、颗粒污染、化学污染。

1、基材受污染

受污染的基材可能不会完全破坏您的涂层，但您为什么要花时间和精力在从一开始就有缺陷的旋涂工艺上呢？完整的清洁过程应解决所有形式的污染。

2、颗粒污染

清洁后，在旋涂过程中可能会发生颗粒污染。

3、化学污染

简单的观察不能总能辨别出残留在晶圆上影响旋涂工艺的化学污染物，但结果是显而易见的。上图显示了由不可见的污染点造成的涂层中的空隙。

排气 - 旋涂

排气是纺纱加工操作中经常被忽视的部分。对于简单的旋涂程序，排气应该足以将任何化学蒸气从操作员身上抽走。

排气 - 蚀刻、显影和清洁

在 Laurell EDC系统中进行水处理时，正确的排气水平更为重要。所有可能的输入、化学物质、用于冲洗的 DI 水、用于清理湿润路径和干燥基材的气体都需要与足够的排气相平衡。这可以防止在处理室中产生过压环境并迅速清除多余的水分。

清洁您的匀胶机旋涂仪

如果您希望获得更好的旋涂效果，您的旋涂机应该一尘不染。应优化您的工艺以使用最少量的化学品，并且应在每次会议结束时清洁旋涂机。

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