微流控PDMS芯片加工工艺

一、配胶

打开天平称胶。A胶：B胶=10:1。A胶与B胶的比越大配出来的胶越软。

二、匀胶

打开真空脱泡搅拌机，放入称好的胶，抽真空将胶搅拌混合。

三、修饰

将处理好的硅片放入挥发缸中，滴1~2滴修饰剂（甲基氯硅烷）修饰约3min。

四、倒胶

锡纸铺平于皿内，放入硅片模具，将硅片轻轻压实后倒胶，务必使硅片上的胶无气泡。

五、干燥

85℃恒温干燥箱内干燥约30min。

六、剥胶

稍冷却后撕下锡纸，将固化后的PDMS与硅片分离，小心揭下PDMS，注意不要损坏硅片。

七、切割

用切割刀沿着芯片外框小心切割，注意切割整齐。

八、打孔

用打孔器打孔，注意打孔的位置、孔径大小。

九、清理

清洗芯片。

十、镜检

用显微镜观察芯片通道是否合格。

十一、键合

等离子处理机处理需要键合的芯片表面，并将被处理的两面贴合。

十二、质检

显微镜下检察芯片的键合情况。

十三、烘烤

放入65℃恒温干燥箱内过夜烘烤。

十四、结束

对芯片进行最后检察，结束制作。整理加工台面。

注：所需仪器：电热板、匀胶机、烘胶台；耗材：光刻胶、显影液、硅片等。注：上文中提及的相关仪器：真空脱泡搅拌机、恒温干燥箱、显微镜、等离子处理机；所需耗材：PDMS预聚物（RTV615或184）、硅片；加工工具：切割刀、打孔器等(汶颢芯片www.whchip.com)