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匀胶机使用注意事项及维护清洗

汶颢匀胶机

匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。


匀胶机简介

匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。


匀胶机使用注意事项 :

(1)所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸 2-3mm 左右,如果用大吸附盘甩小 的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞。

(2)如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电 机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。 

(3)气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气 泵的状况良好及吸片确已吸住。 

(4)本机一旦出现故障或异常情况请立即切断电源,参考上述常见故障排除, 若自己不能解决,请及时拨打汶颢股份公司电话。


匀胶机的维护清洗:

属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗

1.正常使用半个月的;

2.胶被吸入抽气室的; 

3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

汶颢股份是匀胶机生产厂家,欢迎来电咨询匀胶机价格


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