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模塑法-微流控PDMS芯片制备

模塑法PDMS芯片制备方法流程有:

①匀胶前烘 ②曝光 ③启动化学放大反应 ④后烘 ⑤显影+坚模 ⑥固化 ⑦剥胶 ⑧键合

模塑法-微流控PDMS芯片制备流程图如下:

模塑法-微流控PDMS芯片制备流程图

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标签:   模塑法 微流控PDMS芯片
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