由于仪器本身的限制，显微镜偶尔也会“骗人”。比如，电镜就无法很好的观察不能导电的材料，并且它的高能量还会损伤一些样品。为了努力从纳米材料和纳米结构的世界中获取更多的真相，美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology，NIST)的研究人员建立了一套采用锂离子源的低能聚焦离子束显微镜。

2011年，第一台低能聚焦离子束显微镜问世。   2014年，新型聚焦离子束显微镜问世。   尽管新型显微镜的分辨率不如扫描电镜或氦离子显微镜（HIM），但它可以更清楚的观察非导电材料，并能更清楚的观察样品表面的化学成分。通过观察散射离子的能量，研究人不仅能够分辨出相邻材料的化学成分是不同的，并且能够确认不同材料的元素种类。