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光刻胶种类及其成分

光刻胶

光刻胶通常有三种成分:感光化合物、基体材料和溶剂。在感光化合物中有时还包括增感剂。

1、负性光刻胶

主要有聚肉桂酸系(聚酯胶)和环化橡胶系两大类,前者以柯达公司的KPR为代表,后者以OMR系列为代表。

2、正性光刻胶

主要以重氮醌为感光化合物,以酚醛树脂为基本材料。最常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。

3、负性电子束光刻胶

为含有环氧基、乙烯基或环硫化物的聚合物。最常用的是COP胶,典型特性:灵敏度0.3~0.4μC/cm^2(加速电压10KV时)、分辨率1.0μm、对比度0.95。限制分辨率的主要因素是光刻胶在显影时的溶胀。

4、正性电子束光刻胶

主要为甲基丙烯甲酯、烯砜和重氮类这三种聚合物。最常用的是PMMA胶,典型特性:灵敏度40~80μC/cm^2(加速电压20KV时)、分辨率0.1μm、对比度2~3。PMMA胶的主要优点是分辨率高。主要缺点是灵敏度低,此外在高温下易流动,耐干法刻蚀性差。



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