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基于SU-8光刻胶的PDMS倒模加工技术

基于SU-8光刻胶的PDMS倒模加工技术。通过使用传统的光刻方法,以SU-8光刻胶作为模具,可以制作基于PDMS材质的微流控芯片。特点是加工精度高,通道深宽比大,采用实验室现有设备,最小通道尺寸可以达到10?m。典型加工时间3小时左右(SU-8胶光刻、冲洗,PDMS倒模、等离子表面处理、键合)。

基于SU-8光刻胶的PDMS倒模加工技术(PDMS-玻璃)

基于SU-8光刻胶的PDMS倒模加工技术(PDMS-玻璃)

SU-8硅片模具

SU-8硅片模具--加工在4寸硅片上的SU-8模具(用于生物检测的单向阀系统)

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手持式PDMS打孔器