URE-2000/35型光刻机

产品名称：

中国光电URE-2000/35型光刻机

技术特征：

◆适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
◆采用三爪找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能

◆自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度

◆设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。
技术参数：
◆曝光面积：100mm×100mm（可升级150mm×150mm）
◆分辨力：1μm（胶厚2 μm的正胶）
◆ 对准精度：±1μmm
◆掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆ 样片尺寸
◆直径f15mm-- f100mm(可适应非标准片或碎片)
 ◆厚度0.1mm--6mm

◆照明均匀性： ±4%（ 100mm×100mm 范围）
◆掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6?
◆汞灯功率：350W（直流）
◆ 曝光波长：365nm
◆曝光能量密度：>15mW/cm 
◆曝光方式：定时（倒计时方式0.1s—999.9s）
◆外形尺寸：1200mm（长）?900mm(宽) ?1600mm（高）
配置：
（1）曝光头
◆冷光椭球镜
◆350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
◆XYZ汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
（2）对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,三点自动完成
◆样片调焦机构，电机自动调
◆承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用户要求增减）
◆掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）
◆掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
◆光源（配备品2只）、 电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
◆CCD对准系统，21寸液晶显示器
（4）电控系统
◆汞灯触发电源(350W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌 
（5）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表 
（6）其他附件
◆真空泵一台
◆空压机一台
◆管道
（7）技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书